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真空技术在微电子学、生物学中的应用预测

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真空技术在微电子、学生物学中的应用预测、荆大明安徽大学物理系。,对年真空科学和技术的展望国内外很多学者发表过精辟的见解笔者仅就教学和,。科所接触到的一些情称中提一点粗浅看法、一真空技米和微电子学‘’。微电子学包括光电子学一开始就与真空技术紧密相关微电子学的元器件性能称决‘而微观结构义取决于真空沉积条件。子它的微观结构到“年微电子技术和光电子技术,,、会以崭新的姿态出现在电子工业通讯技术、、。计算机技术遥控遥测技术等各个方面作为。这些技术发展的基本条件真空技术无疑将发挥其独特的作用,,一例如超大规模集成电路目前正处在大发展时期光纤通讯技术近来发展很快光计算,。。、、机预计本世纪末或下世纪初可能实现光电技术的发展需要光电器件性能好可靠性高,、、。并且具有量子阱超晶格选择掺杂等新型结构这就要求分子束外延技术具有生长超薄、息突变结和梯度层的能力需要微细加工技术和超高真空技术来保证上述要求的实现因,一。此分子束外延技术和干式刻蚀方法将迅速有效地向前发展,‘分子束外延技术的特点是生长,竺卫些二竺丝俘在极高真空时麦氏统计方法的修正问题布在超高真空条件下的蒸着工艺,在热的非平衡能够减慢生长速度,能够得到原子水平的平坦即重新考虑非平衡态或不具有统计意义的分子行为,。与宏观压力之间的联系问题在特殊条件下的真空测量问题特殊条件下的真空测量方面很多。、例如加速器中的真空测量宇宙航天科学的真空测,。量等等但典型的问题还是后者因为人类巳进入航天时代星际环境条件是极其复杂的,,,“每厘米仅有十个粒子左右首先由极高真空其次是由太阳电磁辐射宇宙电离粒子和太,、阳电离粒子宇宙尘及大空磁场等来表征的卫星还要以公里秒的速度运行因此真空,,,。测量的是一个非稳定的又不断变化入射方向的快速分子流此外送到宇宙空间的真空计必,、、然要体小量轻长寿命高可靠反应快耗电低的特殊真空计。食为了配合我国航天事业的发展,。到年实现上述任务我们真空工作者是责无旁贷道路是曲折而艰巨的但是只要我,,,。们共同努力刻苦钻研,就没有攀登不了的高峰,一一?

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