我的“中国芯” ——记1979年全国劳模、清华

李志坚获得陈嘉庚科技进步奖。

他是我国硅基半导体科学研究的奠基人和开创者——早在20世纪50年代后期，他就提出了以硅技术为半导体专业的主要研究方向；20世纪70年代末，他又提出以CMOS集成微电子学为主要学术方向。这两次学术方向的确立对我国的半导体事业和清华大学微电子学科的成功起步及持续发展有着极为重要的战略意义。1979年被评为全国劳模，1991年当选中国科学院院士，他就是清华大学教授李志坚。

李志坚六十年的学术生涯，是他从一个立志报国的青年成长为一名杰出的微电子学专家的历程，更是中国微电子事业从无到有艰难前行的展现。这期间有他个人在学术探索中的努力和奉献，有他追求科学真理的信念和坚持。今天，就让我们跟随李志坚的足迹去重温他为微电子奋斗的一生。

战火中的少年

李志坚1928年出生于浙江省宁波市北仑区柴桥镇，父亲是一名独立创业的普通商人，母亲是一位传统的家庭妇女。父母祖辈虽不是书香门第、权贵家族，却在平凡中为儿女如何做人、如何建业树立了最淳朴的理念。

李志坚1934年进入宁波镇海柴桥小学，本应是无忧无虑的孩童时光却因抗日战争的爆发被改写。李志坚的家乡遭遇日机轰炸，他当时就读的小学也被炸毁。在战火的威胁下，李志坚小小年纪就跟随学校到乡下避难。师生们总是要提心吊胆地提防着日军的偷袭和轰炸，时常要进行逃生准备和演练。

在这样紧张和恐慌的战争氛围中，李志坚开启了他的爱国启蒙之路。当时，北方流亡的爱国知识分子以及许多原在上海、杭州等地工作、读书的青年人，逃难来到柴桥小镇。他们带来了爱国抗战的进步思想，也带来了年轻人的热血抱负。在这些青年的影响启发下，李志坚开始思考各种问题，尤其对自然物理现象特别感兴趣，甚至回到家里还继续和弟弟们一起探索。

1940年，李志坚升入镇海中学，此时的镇海中学因抗日战争几度在农村和山区辗转，他也随学校转移到了庄市汤家庙。这一时期的生活环境极为恶劣，师生睡地铺、吃青菜淡饭、自己动手开辟活动场所；教学设施非常匮乏，课本不全，图书仪器一无所有，但是大家却不以为苦。这一时期，对战争的痛恨及爱国报国的热情深深植入了这个饱受战争之苦的青年心里。他那时写了一篇作文，用一片被狂风吹落的绿叶的孤独及任人践踏的惨状与无助，比喻那些受日寇蹂躏的苦难同胞。后来，即便是如此艰难的求学，也因战争愈演愈烈而中断。李志坚在母亲的支持下自学一年，直至镇海县中复校后才得以回校。

战乱让李志坚从小树立了爱国报国的理想，同样，战乱也磨炼了他百折不挠的意志。

结缘半导体

1947年，李志坚考取百年名校浙江大学，在物理系何增禄、束星北、卢鹤绂、王淦昌等当时中国物理学界最优秀教授的引领下，走进了物理学的殿堂，大学毕业后被分配到同济大学物理系任助教。在院系调整时，他代替同事准备去东北农学院任职，却又接到学校通知，要他前去北京俄专学习一年后留学苏联。就这样，李志坚在诸多波折中踏上了去苏联求学的旅程。

1953年9月，李志坚成为苏联列宁格勒大学物理系研究生。他原打算在金属学方面深造，以便学成后服务于国家的钢铁工业。但由于列宁格勒大学物理系没有金属学专业，只好另作考虑。当时半导体研究在苏联刚刚起步，他的导师亚历山大·阿列克谢耶夫·列别杰夫（～） 是该领域的专家，1953年10月23日被苏联科学院大会选举为苏联科学院院士。导师为他制定了读书计划，开列了书单，并要他补习固体物理、量子力学等四、五门基础课程，要求他用两年时间完成学习计划并通过相关专业考试。然而，李志坚仅用半年时间便克服了语言难关，完成了导师规定的学习任务，阅读了书单所列的全部书目，并顺利通过了相关科目的考试。

他的研究集中在改善红外光电器件的性能，并在理论方面进行探索。由于当时实验设备简陋，他只能从获得真空的玻璃装置做起。得益于浙大物理系学习时练就的良好实验技能，他很快自制出可避免X射线诱生离子流的电离真空计；为了测试原子层薄膜的电导，他还自制了电流灵敏度达到10～15A以上的电流计；为了观测从很低能量到较高能量范围内的能谱，又能实现从晶粒表面激发电子，他设计制造了能量分散度只有100毫电子伏、从零到几伏变化的低能电子束枪。他的这些工作受到了导师和周围同事们很高的评价。

文章来源：《微电子学与计算机》 网址: http://www.wdzxyjsjzz.cn/qikandaodu/2020/0813/369.html